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硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物总称，包含甲硅烷、乙硅烷和一些硅氢化合物，硅烷废气的处理采用点燃+洗涤法净化硅烷汽体，系统中包括：硅烷废气燃烧设备+滤筒除尘器+洗涤塔。主要用于单晶硅、多晶硅领域生产中产生的硅烷废气的处理。以下是废气治理厂家分享。
徐州鑫源环保机械有限公司分享工作原理是硅烷与输入空气压缩或新风补气口补入空气触碰而起火或发生氧化反应，反映后形成大量二氧化硅粉尘；氨气采用净化塔喷洒吸收产生氨水。内部燃烧仓采用特殊泄压装置，即便在内部压力忽然扩大的情形下仍能正常运转，同时配置了N2通道，更为变大设备安全性。
在粉尘搜集层面采用负压沉积的办法，沉积下来的粉尘根据清渣口排出，这使粉尘搜集解决变得更容易、更高效，后面工艺还配套了滤筒除尘技术，进一步清除氧化硅粉尘，提高粉尘的治理效率。
主要应用于太阳能、光伏行业、半导体业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷废气处理。
鑫源环保致力于工业废气治理、VOC废气治理、焊接烟尘净化、工业粉尘处理、除臭等环境污染治理工程及处理设备的研发设计。公司注重技术创新，以高质量的设备、先进的技术、更优的方案、专业的施工及良好的技术支持为广大客户提供的服务。公司秉承“广纳高科技人才，依托高科技，追求高质量”的宗旨；不断地进行工业环境治理技术、VOC有机废气处理的创新与研发，始终站在科学治理环境的技术前沿。公司拥有一支专业、技术过硬的服务团队，面对员工，我们倡导”以人为本“的企业文化，为企业的每一个员工创造良好的工作、生活环境，每一个人的才华都能在这里得到体现；面对客户的需求和利益，我们将以全心全意的精神，竭诚提供合适的产品、服务和解决方案。
